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Microsystem technology related activities at the Forschungszentrum Karlsruhe. A survey

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240046837
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Symp.on Micro/Nano Scale Mechanical Engineering, Seoul, Korea, December 9-10, 1999 Proc.S.1-15
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