Microsystem technology related activities at the Forschungszentrum Karlsruhe. A survey
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240046837 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Symp.on Micro/Nano Scale Mechanical Engineering, Seoul, Korea, December 9-10, 1999 Proc.S.1-15 |