Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240046976 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Houlihan, F.M. [Hrsg.] Advances in Resist Technology and Processing XVII, 17th Annual SPIE Conf., Santa Clara, Calif., February 27 - March 1, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 3999) |