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Manufacturing of micro-components in a research institute under DIN EN ISO 9001

Maas, D.; Karl, B.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240047192
HGF-Programm 41.08.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Karam, J.M. [Hrsg.] Micromachining and Microfabrication Process Technology, Santa Clara, Calif., September 18-20, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4174)
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