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Deep X-ray lithography for the fabrication of microstructures at ELSA

Pantenburg, F.J.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240047236
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk SRI 2000 : Proc.of the 7th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation, Berlin, August 21-25, 2000 Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 467-468(2001) DOI:10.1016/S0168-9002(01)00629-5
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