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Development and application of a computer-supported method for designoptimization of microoptical systems

Sieber, I.; Guth, H.; Eggert, H.; Scherer, K.P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240047239
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS : Part of the Symp., Paris, F, May 9-11, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4019)
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