Development and application of a computer-supported method for designoptimization of microoptical systems
Sieber, I.
; Guth, H.; Eggert, H.; Scherer, K. P.
; Guth, H.; Eggert, H.; Scherer, K. P.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240047239 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS : Part of the Symp., Paris, F, May 9-11, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4019) |