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Fertigung von mikrostrukturierten Komponenten und Formeinsätzen aus Metall

Bacher, W.; Bade, K. ORCID iD icon; Guber, A.; Guttmann, M.; Pfleging, W. ORCID iD icon; Schaller, T.; Schlossmacher, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240047273
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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