Automatisierung der Aufbau- und Verbindungstechnik für die Mikrosystemtechnik am Beispiel metalloxidischer Gassensor-Chips
Blank, T.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240047287 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000) |