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Lasergestützte Entwicklung von mikrostrukturierten Komponenten und Abformwerkzeugen

Pfleging, W. ORCID iD icon; Hanemann, T.; Hoffmann, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240047289
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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