Funktionsschichten für mikroverfahrenstechnische Bauteile
Fichtner, M.; Benzinger, W.; Haas-Santo, K.
; Pfeifer, P.; Wunsch, R.
; Pfeifer, P.; Wunsch, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240047292 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000) |