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KomPas: Thermophysikalisches Prüfsystem für Mikrokomponenten

Rohde, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240047303
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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