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Komponenten zum Aufbau modularer Mikrofertigungssysteme

Gengenbach, U.; Hofmann, A. ORCID iD icon; Köhler, B.; Just, E.; Kohl, M.; Eberle, F.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240047305
HGF-Programm 41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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