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Komponenten zum Aufbau modularer Mikrofertigungssysteme

Gengenbach, U.; Hofmann, A.; Köhler, B.; Just, E.; Kohl, M.; Eberle, F.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240047305
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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