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Optical 2x2 switch matrix with electromechanical micromotors

Ruzzu, A.; Haller, D.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240047408
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Motamedi, M.E. [Hrsg.] MOEMS and Miniaturized Systems, Santa Clara, Calif., September 18-20, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4178)
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