Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240047506 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | SEMICON Europa 2000 : Course MST/MEMS Technologies, München, April 3, 2000 München : SEMI, 2000 |