Free space optical components and systems based on LIGA technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240048074 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2000 IEEE/LEOS Internat.Conf.on Optical MEMS, Kauai, Hawaii, August 21-24, 2000 Piscataway, N.J. : IEEE, 2000 |