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Free space optical components and systems based on LIGA technology

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240048074
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 2000 IEEE/LEOS Internat.Conf.on Optical MEMS, Kauai, Hawaii, August 21-24, 2000 Piscataway, N.J. : IEEE, 2000
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