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Standards for microsystem production equipment

Gengenbach, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240048124
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] System Integration in Micro Electronics : Exhibition and Conf., Nürnberg, June 27-29, 2000 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2000
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