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Building a cost effective, modular and flexible expandable microsystem fabrication

Hofmann, A.; Bär, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240048540
HGF-Programm 41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Microfactory : 2nd Internat.Workshop on Microfactories, Fribourg, CH, October 9-10, 2000 Neuchatel : Swiss Foundation for Research in Microtechnology, 2000
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