Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240048605 |
HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 26th Internat.Conf.on Micro- and Nano-Engineering, Jena, September 18-21, 2000 Microelectronic Engineering, 57-58(2001) |