| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240048605 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 26th Internat.Conf.on Micro- and Nano-Engineering, Jena, September 18-21, 2000 Microelectronic Engineering, 57-58(2001) |