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Simulation von LIGA Spektrometern

Krevet, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240048805
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Workshop zum Thema 'Simulationen in der Mikrosystemtechnik', Forschungszentrum Karlsruhe, 26.Oktober 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6564 (November 2000)
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