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Bauteiloptimierung in der MST mit FEM

Diegele, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240048809
HGF-Programm 31.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Workshop zum Thema 'Simulationen in der Mikrosystemtechnik', Forschungszentrum Karlsruhe, 26.Oktober 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6564 (November 2000)
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