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Process modeling of the laser induced surface modification of ceramic substrates for thermal and electrical lines in microsystems

Gruhn, H.; Heidinger, R.; Rohde, M.; Rüdiger, S.; Schneider, J.; Zum Gahr, K.H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240048829
HGF-Programm 41; LK 01
Erscheinungsvermerk Kumar, D. [Hrsg.] Laser-Solid Interactions for Materials Processing : Symp., San Francisco, Calif., April 25-27, 2000 Warrendale, Pa. : MRS, 2001.3.1-J5.3.6 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 617)
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