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Development of a micro optical distance sensor with electrical I/O interface

Oka, T.; Nakajima, H.; Shiratsuki, A.; Tsugai, M.; Wallrabe, U.; Hollenbach, U.; Krippner, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240049314
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Transducers '01 Eurosensors XV : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001 ; Digest of Technical Papers Berlin [u.a.] : Springer, 2001
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