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Microstructures machined by planing and slotting

Schaller, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240049421
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001
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