| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240049424 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Cannes, F, April 25-27, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4408) |