Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240049441 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 16th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, Arlington, Va., November 10-15, 2001 Raleigh, N.C. : American Soc.for Precision Engineering, 2001 |