A concept for modular fabrication equipment for fluidic microsystems

; Engelhardt, F.; Gengenbach, U.; Scharnowell, R.; Bär, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240049529
HGF-Programm	41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 2001 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27-29, 2001 Offenbach [u.a.] : VDE Verl., 2001