Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240049650 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Cannes, F, April 25-27, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 S.478-85 (SPIE Proceedings Series ; 4408) HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts S.231-32 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001 |