Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240049651 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Cannes, F, April 25-27, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4408) |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |