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Micro fabrication technologies for polymers, metals and ceramics

Bley, P.; Fahrenberg, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240049828
HGF-Programm 41.00.00; LK 01
Erscheinungsvermerk Chinese-German Symp.for Nanotechnology and Microsystems, Beijing, China, May 24-26, 2001 Proc.
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