Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240049934 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Selected Papers from Transducers '01 : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001 Sensors and Actuators A, 97-98(2002) |