Production of metallic high aspect ratio microstructures by microcasting
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240049942 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 8(2002) DOI: 10.1007/s00542-001-0132-z |