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Production of metallic high aspect ratio microstructures by microcasting

Baumeister, G.; Müller, K.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240049942
HGF-Programm 41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 8(2002) DOI: 10.1007/s00542-001-0132-z
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