Replication techniques for ceramic microcomponents with high aspect ratios
Bauer, W.
; Knitter, R.
; Emde, A.; Bartelt, G.; Göhring, D.; Hansjosten, E.
; Knitter, R.
; Emde, A.; Bartelt, G.; Göhring, D.; Hansjosten, E.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240049950 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002) DOI: 10.1007/s00542-002-0200-z |