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Replication techniques for ceramic microcomponents with high aspect ratios

Bauer, W.; Knitter, R.; Emde, A.; Bartelt, G.; Göhring, D.; Hansjosten, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240049950
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002) DOI: 10.1007/s00542-002-0200-z
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