Swelling of PMMA structures in aqueous solutions and room-temperature Ni-electroforming
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240050011 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts S.215-16 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001 Microsystem Technologies, 8(2002) S.116-19 DOI: 10.1007/s00542-001-0138-6 |