KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

A MS-Windows simulation tool for synchrotron X-ray exposure and subsequent development

Meyer, P.; Cremers, C.; El Kholi, A.; Haller, D.; Schulz, J. ORCID iD icon; Hahn, L.; Megtert, S.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240050016
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002) DOI: 10.1007/s00542-002-0209-3
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page