A MS-Windows simulation tool for synchrotron X-ray exposure and subsequent development
Meyer, P.; Cremers, C.; El Kholi, A.; Haller, D.; Schulz, J.
; Hahn, L.; Megtert, S.
; Hahn, L.; Megtert, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240050016 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002) DOI: 10.1007/s00542-002-0209-3 |