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Double-sided hot embossing of microstructures

Heckele, M.; Dittrich, H.; Guber, A.; Schaller, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240050090
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001
URLs Abstract (HTML)
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