Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240050493 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 12th Micromechanics Europe Workshop (MME 2001), Cork, IRL, September 16-18, 2001 Journal of Micromechanics and Microengineering, 12(2002) DOI:10.1088/0960-1317/12/4/304 |