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Free space optical components based on LIGA technology

Mohr, J.; Last, A.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240050521
HGF-Programm 41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Technical Digest of the 8th Microoptics Conf. (MOC '01), Osaka, J, October 24-26, 2001 Tokyo : The Group of Microoptics, Optical Soc.of Japan, Japan Soc.of Applied Physics, 2001
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