| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240050522 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Mecatronics '01 : 5eme Congres Franco-Japonais, 3eme Congres Europe-Asie, Besancon, F, 9-11 Octobre 2001 Proc.on CD-ROM Besancon, 2001 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |