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Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik unter Reinraumbedingungen

Ruprecht, R.; Saile, V.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240050528
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Reinraumtechnik 2001 : VDI-TGA Fachtagung, Trier, 27.-28.September 2001 Düsseldorf : VDI-Verl., 2001 (VDI-Berichte ; 1611)
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