Dünnschichtherstellung und Charakterisierung von Materialien für verschleißbeanspruchte Mikrobauteile
Leiste, H.; Rohde, M.; Schneider, J.
; Fett, T.
; Fett, T.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240050650 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile. Strategiefondsprojekt der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren, Abschlusspräsentation, Forschungszentrum Karlsruhe, 23.Oktober 2001 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6662 (Oktober 2001) |