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Laser micromachining of mold inserts for replication techniques. State of the art and applications

Pfleging, W.; Hanemann, T.; Bernauer, W.; Torge, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240050666
HGF-Programm 41.08.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Gower, M.C. [Hrsg.] Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VI, San Jose, Calif., January 22-24, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4274)
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