Laser micromachining of mold inserts for replication techniques. State of the art and applications
Pfleging, W.
; Hanemann, T.; Bernauer, W.; Torge, M.
; Hanemann, T.; Bernauer, W.; Torge, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240050666 |
| HGF-Programm | 41.08.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Gower, M.C. [Hrsg.] Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VI, San Jose, Calif., January 22-24, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4274) |