Characterisation of silicon carbide and silicon nitride thin films and Si₃N₄/SiC multilayers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240051061 |
| HGF-Programm | 42 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 12th European Conf.on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, Nitride and Silicon Carbide (Diamond 2001), Budapest, H, September 2-9, 2001 Diamond and Related Materials, 11(2002) |