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Parameter spaces for the nucleation and the subsequent growth of cubic boron nitride films

Kulisch, W.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240051064
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001 Thin Solid Films, 423(2003) 2
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