A miniaturized laser scanner in LIGA technology (Mils)

Krevet, B.; Hoffmann, S.; Kohl, M.; Kunz, Th.; Mohr, J.; Oliva, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240052113
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 2002 : 8th Internat.Conf.on New Actuators and 2nd Internat.Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, Bremen, June 10-12, 2002 ; Conf.Proc. Bremen : Messe Bremen GmbH, 2002