Optical scanner based on a NiMnGa thin film microactuator

Kohl, M.; Hoffmann, S.; Liu, Y.; Ohtsuka, M.; Takagi, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240052115
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Internat.Conf.on Martensitic Transformations (ICOMAT 02), Espoo, SF, June 10-14, 2002 Journal de Physique IV, Proceedings, 112(2003) DOI: 10.1051/jp4:20031094