| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240052158 |
| HGF-Programm | 41.09.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, Cannes, F, May 6-8, 2002 Bellingham, Wash. : SPIE, 2002 (SPIE Proceedings Series ; 4755) |