Polymer micro valve with a hydraulic piezo-drive fabricated by the AMANDA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240052604 |
| HGF-Programm | 41.09.01 (POF I, LK 01) Fluidische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | EUROSENSORS XVI, Praha, CZ, September 15-18, 2002 Book of Abstracts S.109-10 (MP39) Sensors and Actuators A, 110(2004) S.206-12 DOI:10.1016/j.sna.2003.10.056 |