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Polymer micro valve with a hydraulic piezo-drive fabricated by the AMANDA process

Rogge, T.; Rummler, Z.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240052604
HGF-Programm 41.09.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk EUROSENSORS XVI, Praha, CZ, September 15-18, 2002 Book of Abstracts S.109-10 (MP39) Sensors and Actuators A, 110(2004) S.206-12 DOI:10.1016/j.sna.2003.10.056
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