Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240052613 |
HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | COMS 2002 : 7th Internat.Conf.on the Commercialization of Micro and Nanosystems, Ypsilanti, Mich., September 8-12, 2002 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2002 |