| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240052664 |
| HGF-Programm | 33.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 15th Internat.Vacuum Congress of the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA), San Francisco, Calif., October 28 - November 2, 2001 Journal of Vacuum Science and Technology A, 20(2002) DOI: 10.1116/1.1501568 |