Surface analytical characterization of SiO₂ gradient membrane coatings on gas sensor microarrays

Bruns, M.; Frietsch, M.; Nold, E.; Trouillet, V.; Baumann, H.; White, R.; Wright, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240052911
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	AVS 49th Internat.Symp., Denver, Colo., November 4-8, 2002 Journal of Vacuum Science and Technology A, 21(2003) DOI:10.1116/1.1563625 Virtual Journal of Nanoscale Science and Technology, 8(2003) Nr.2