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Investigations of silicon nitride and boron carbide monolayers and Si₃N₄/B₄C multilayers

Lattemann, M.; Ulrich, S.; Leiste, H.; Nold, E.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240053211
HGF-Programm 42.02.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Jahrestagung der Deutschen Vakuum-Gesellschaft, Magdeburg, 17.-21.Juni 2002 Applied Physics A, 78(2004) DOI: 10.1007/s00339-003-2276-4
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