Investigations of silicon nitride and boron carbide monolayers and Si₃N₄/B₄C multilayers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240053211 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Erscheinungsvermerk | Jahrestagung der Deutschen Vakuum-Gesellschaft, Magdeburg, 17.-21.Juni 2002 Applied Physics A, 78(2004) DOI: 10.1007/s00339-003-2276-4 |